泄漏检测方法有哪些？各自泄漏检测方法的特点。

气泡法

在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体，将工件沉放入水中(或者其它液体中)，观察是否有气泡溢出。或者在工件表面涂肥皂水，观察是否有气泡产生。

气泡法测漏的特点：落后，污染产品，效率低下，无法自动化。

压力降法

在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体，静止一段时间，再次检测气体的压力，观察压力是否有降低，根据压力的变化来判断是否有泄漏。

压力降法的特点：落后，效率极其低下，灵敏度最低。

压力差法

原理与压力降法类似，但方法更好。在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体，同时在一个标准罐体内通入同样压力的气体，静止一段时间，观察标准罐体内的压力与工件内的压力差。这个比压力降法的精度要高，它可以排除环境温度变化带来的压力偏差。但市面上现有的压差表分辨率只有100~1000pa。

压力差法的特点：灵敏度有所提高，效率也不高。

泄漏收集法

适合阀类产品，一侧（腔体）加压，另一侧（腔体）收集泄漏气体且尽可能减小腔体体积，以增加单位泄漏量下的压力的变化速度。

泄漏收集法的特点：效率一般。

超声波探测法

原理是泄漏点会产生超声波，使用超声波探测仪即可找出泄漏点。这个适用于寻找气体管路泄漏点的检测。

超声波探测法的特点：精度很差，最小只能探测到3公斤压力下100um孔径的泄漏，这时的泄漏速度有100000立方毫米/秒以上。

卤素气体检漏法

将一定压力的卤素气体通入密闭的工件腔体中，在工件外部用卤素探测仪检测是否有卤素气体泄漏。

卤素气体检漏法的特点：精度尚可，能探测到的最小泄漏速度大约为10~20立方毫米/秒，效率一般，要在所有表面扫描探测。

氢氦气检漏法

原理与卤素气体检漏法类似，不同的是使用分子量更小，运动速度更快的氢氦气体，所以灵敏度更高。在20℃标准大气压下，水分子的运动速率约1~2m/s，氧气分子运动速率约460m/s，氢分子运动速率约1600m/s。将一定压力的氦气，通入密闭的工件腔体中，然后使用氦质谱仪检测工件的腔体周围是否有氢氦元素泄漏，这个是目前高精度检漏所用的方法，比起前面几个方法来说，精度提高了很多，当然，成本也很高。

氢氦气检漏法的特点：灵敏度最高，在真空模式下，每秒泄漏超过1亿个气体分子时，就能探测到，在标准大气压下约5立方微米/秒，或10^-13立方米*帕/秒，若在大气模式下，灵敏度减少4个数量级，约0.05立方毫米/秒。不仅设备昂贵，而且需要消耗昂贵的氦气，要配置真空泵等，效率尚可，使用时要在所有表面扫描探测。